| |
 |
UNIVERSITY OF BUCHAREST
FACULTY OF PHYSICS Guest
2024-11-22 2:01 |
 |
|
|
|
Conference: Bucharest University Faculty of Physics 2005 Meeting
Section: Optics, Spectroscopy, Plasma and Lasers
Title:
Obtinerea de filme subtiri orientate de AlN prin depunere laser pulsata asistata de o descarcare in radiofrecventa
Authors:
Andreea Purice, N.D. Scarisoreanu, G. Dinescu, M. Dinescu, M. Filipescu, A. Barbalat, A. Moldovan
Affiliation:
INFPLR - Bucharest
E-mail
Keywords:
Abstract:
AlN este unul dintre cele mai atractive materiale piezoelectrice datorita aplicatiilor potentiale . La tehnica clasica de depunere PLD "Pulsed Laser Deposition" a fost adaugata o descarcare in radiofrecventa (RF discharge) care permite obtinerea, datorita unei geometrii speciale , unei "plasma beam" care contine specii excitate si ionizate de azot.
Influenta conditiilor de crestere a filmelor subtiri de AlN , ca de exemplu presiunea de azot in timpul depunerii, puterea rf si temperatura substratului asupra propietatilor filmelor a fost sistematic studiata. Propietatile de interes sunt cristalinitatea, gradul de orientare, marimea cristalitelor, rugozitatea suprafetei, proprietatile piezoelectrice si altele.
O atentie speciala a fost acordata depunerii de filme subtiri de AlN pe diferite substrate in scopul de a studia influenta substratului asupra orientarii si proprietatilor filmelor. Deasemenea a fost studiata influenta plasmei de radiofrecventa asupra orientarii si propietatilor filmelor subtiri de AlN
Diverse analize au fost efectuate in scopul de a evidentia caracteristicile piezoelectrice ale filmelor subtiri de AlN, ca de exemplu masurarea coeficientului piezoelectric d33, masuratori de difractie de raze X (XRD) pentru a studia gradul de orientare a structurii depuse. Morfologia filmelor a fost studiata cu ajutorul microscopiei de forta atomica (AFM).
|
|
|
|