| |
 |
UNIVERSITY OF BUCHAREST
FACULTY OF PHYSICS Guest
2024-11-22 2:05 |
 |
|
|
|
Conference: Bucharest University Faculty of Physics 2005 Meeting
Section: Optics, Spectroscopy, Plasma and Lasers
Title:
Proprietatile optice, electrice si structurale ale filmelor subtiri de ZrO2 si ZrSixOy obtinute prin Depunere Laser Pulsata
Authors:
1M. Filipescu, 1A. Purice, 1N. Scarisoreanu, 1A. Moldovan, 2F. Iova, 2O. Toma,
1M. Dinescu, 3C. Ghica
Affiliation:
1Institutul National pentru Fizica Laserilor, Plasmei si Radiatiei, CP MG–16 Magurele, Bucuresti, RO-077125
2 Facultatea de Fizica, Universitatea Bucuresti, Bucuresti
3 Institutul National pentru Fizica Materialelor, Magurele, Bucuresti, RO-077125
E-mail
Keywords:
Abstract:
Filmele subtiri de zirconia si silicat de zirconiu au fost depuse prin ablarea laser a unor tinte de Zr, si respectiv Zr si Si in atmosfera reactiva de oxigen. Pentru unele experimente, la dispozitivul experimental de depunere (PLD) a fost adaugat un fascicul de radio-frecventa cu descarcare in oxigen. A fost studiata influenta parametrilor de depunere (presiunea de oxigen, fluenta laser, lungimea de unda si puterea fasciculului de RF), asupra structurii si morfologiei straturilor depuse. Au fost inregistrate pirderi mici, iar valorile constantei dielectrice s-au situat in intervalul 15-20 pentru filmele subtiri de ZrO2 si ZrSixOy. Filmele depuse pe subtrat de Pt/Si prin ablatie laser asistata de fascicul de RF, prezinta curenti de scurgere foarte mici, sub 5*10-7 A/cm2. Investigatiile facute asupra filmelor subtiri cu microscopul de forta atomica si microscopul electronic cu baleiaj, arata suprafete uniforme, fara picaturi sau crapaturi, cu rugozitate mica, de ordinul nanometrilor.
|
|
|
|