| |
 |
UNIVERSITY OF BUCHAREST
FACULTY OF PHYSICS Guest
2024-11-24 23:13 |
 |
|
|
|
Conference: Bucharest University Faculty of Physics 2005 Meeting
Section: Optics, Spectroscopy, Plasma and Lasers
Title:
Filme subțiri de carbonitrură de bor obținute prin ablație laser pulsată asistată de descărcare de radiofrecvență
Authors:
F. Stokker-Cheregi, M. Bercu, A. Moldovan, G. Dinescu, C. Ghica, L.C. Nistor, M. Dinescu
Affiliation:
INFPLR - Bucharest
E-mail
Keywords:
Abstract:
Filmele subțiri de carbonitrură de bor (BCN) au fost depuse pe diferite substraturi (Al și sticlă Corning) prin ablarea laser pulsată (PLD) a unei ținte compuse din C și BN hexagonal în atmosferă reactivă de azot. Se discută calitatea filmelor subțiri obținute, în funcție de diferiții parametri de depunere cum ar fi temperatura substratului (de la temperatura camerei până la 200°C) și presiunea azotului din incintă (10-5 - 5 x 10-2 mbar). O atenție deosebită este acordată rolului determinant al descărcării de radiofrecvență. Prezența structurilor corespunzătoare compușilor de BCN este pusă în evidență cu ajutorul Spectroscopia în Infraroșu cu Transformată Fourier (FTIR). Cristalinitatea filmelor de BCN a fost determinată din spectrele de Difracție de Raze X (XRD). Morfologia suprafeței a fost analizată utilizând un Microscop cu Forță Atomică (AFM) și prin Microscopie Electronică de Baleiaj (SEM). Spectroscopia cu Electroni Auger (AES) a permis determinarea cantitativă a rapoartelor diferitelor elemente B:C:N prezente. Alte analize au fost efectuate pentru a măsura duritatea filmelor subțiri rezultate.
|
|
|
|