| |
 |
UNIVERSITY OF BUCHAREST
FACULTY OF PHYSICS Guest
2024-11-22 1:25 |
 |
|
|
|
Conference: Bucharest University Faculty of Physics 2005 Meeting
Section: Optics, Spectroscopy, Plasma and Lasers
Title:
Proprietatile filmelor subtiri de oxid de zinc obtinute prin depunere laser pulsata (PLD)
Authors:
1N. Scarisoreanu, , 1A. Purice, 1A. Moldovan, 1M. Filipescu , 1R. Birjega, 2C. Ghica, 1M. Dinescu
Affiliation:
1Institutul National pentru Fizica Laserilor, Plasmei si Radiatiei, CP MG–16 Magurele, Bucuresti, RO-077125
2 Institutul National pentru Fizica Materialelor, Magurele, Bucuresti, RO-077125
E-mail
Keywords:
Abstract:
Filme subtiri de oxid de zinc au fost crescute pe substrate de Pt/Si, safir si MgO prin ablatia unei tinte metalice de Zn in atmosfera reactiva de oxigen, prin depunere laser pulsata sau prin depunere laser pulsata asistata de radio-frecventa (Rf-PLD). S-a studiat influenta parametrilor de depunere, cum ar fi lungimea de unda (266 nm, 355 nm, 1064 nm), fluenta laser (1.5-20 J/cm2), presiunea de oxigen (1-60 Pa) si puterea RF asupra proprietatilor morfologice ale filmelor de oxid de zinc. Filmele obtinute, cu grosimi intre 50 nanometri si 4 microni, au fost caracterizate prin Microscopie de Forta Atomica (AFM), Difractie de Raze X (XRD) si Microscopie Electronica in Transmisie.
|
|
|
|